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產(chǎn)品列表 / products

日本ULVAC CFB-1600N耐腐蝕分子泵技術(shù)資料

更新時(shí)間:2015-12-28 點(diǎn)擊量:842

日本ULVAC CFB-1600N耐腐蝕分子泵 一、產(chǎn)品簡介

        CFB-N系列脂潤滑分子泵其葉輪采用國內(nèi)*的變截面葉齒,軸承采用脂潤滑陶磁精密軸承,以更高的可靠性實(shí)現(xiàn)了泵的任意角度安裝和清潔無油的高真空環(huán)境,廣泛應(yīng)用于光伏、照明、宇航、半導(dǎo)體、能源、軍工、激光、家電、新材料、汽車等真空技術(shù)的各個(gè)領(lǐng)域。

 

日本ULVAC CFB-1600N耐腐蝕分子泵 二、產(chǎn)品特點(diǎn)

        

  • 由于對分子量大的氣體有很高的壓縮比,因此該泵不需要冷阱和油擋板即可獲得高真空和超高真空。
  • 軸承采用脂潤滑陶瓷精密軸承,可以實(shí)現(xiàn)泵的任意角度安裝。

 

日本ULVAC CFB-1600N耐腐蝕分子泵 三、主要性能指標(biāo)

 

型號

CFB-1600N

進(jìn)氣口法蘭

LF250

CF250

排氣口法蘭

KF50

抽氣速率

L/s

1600

壓縮比N2/H2

1×109/1×104

極限壓強(qiáng)

Pa

5×10-7

8×10-8

電機(jī)轉(zhuǎn)速

rpm

21000

啟動(dòng)時(shí)間

min

<6

使用場合

耐腐蝕

振動(dòng)值

μm

≤0.15

前極泵

L/s

15

冷卻水溫度

≤20

泵體烘烤溫度

<120

冷卻水流量

L/min

1

加熱器功率

W

<700

加熱器輸入電壓

V

AC220

安裝方向

垂直±5°

重量

kg

~39

 

四、特性曲線及安裝尺寸

 

CFB-N系列抗沖擊分子泵對大氣的抽速曲線 

CFB-N系列抗沖擊分子泵對氮?dú)饧皻錃鈮嚎s比曲線

CFB-N系列耐腐蝕復(fù)合分子泵安裝尺寸表

型號規(guī)格

CFB-1600N

高真空法蘭

LF250

CF250

D1

Ф290

Ф305

D2

Ф296

Ф296

D3

□183.8

□183.8

L1

161

161

L2

166

166

H1

394

394

H2

110

110

H3

142.5

142.5

H4

104

104

泵腿螺釘孔

4-M8

4-M8