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軸承: 空氣軸承 Z小扭矩: 0.002μN(yùn)m Z大扭矩:200mNm (MCR501可達(dá)230mNm) 偏角(預(yù)設(shè)):0.1到∞ μrad Z小速度(CSS):10-7 rpm Z小速度(CSR):10-6 rpm Z大速度: 3000rpm
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